高纯磷烷的规模化生产

• 作者: 吴江红 孙福楠 岳成君 李健
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 磷烷 合成 吸附 低温精馏 超纯净化
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 特气制备
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TQ117
• 字数: 3232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2006.01.008

摘要

对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别.吸附-低温精馏-超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术"瓶颈".

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙福楠		13	64	5.0	7.0
2	岳成君		3	5	1.0	2.0
3	李健		1	5	1.0	1.0
4	吴江红		7	44	4.0	6.0