电子束曝光机激光工件台系统研制

• 作者: 乔俊仙 唐小萍 张正荣 王淑蓉 王肇志 胡松 邢薇
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 激光干涉仪 工件台 精密定位
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TN05
• 字数: 3433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.02.008

摘要

介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标.该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新.无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王淑蓉	中国科学院光电技术研究所	5	35	3.0	5.0
2	唐小萍	中国科学院光电技术研究所	32	193	8.0	12.0
3	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
4	乔俊仙	中国科学院光电技术研究所	5	11	2.0	3.0
8	王肇志	中国科学院光电技术研究所	9	49	4.0	6.0
9	张正荣	中国科学院光电技术研究所	5	46	4.0	5.0
10	邢薇	中国科学院光电技术研究所	1	6	1.0	1.0