新型前栅极CNT-FED的研究

• 作者: 储开荣 张晓兵 杨夏喜 狄云松 陈静 雷威
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 场致发射显示板 三极结构 前栅极 碳纳米管 HOP玻璃
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 场发射与真空微纳电子会议专辑
• 页码范围: 12-14,25
• 页数: 4页
• 分类号: TB873
• 字数: 1607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2006.01.004

摘要

传统的前栅极场致发射显示板由于介质层和栅极的制作在生成或制作阴极场致发射源之后,在制造过程中容易破坏场致发射源;另外阴极发射对介质层厚度、阳极电压和调制极开口等参数非常敏感,所以器件的发射均匀性难以保证.为了解决这些问题,引入了类似HOP玻璃的结构.阴极上只需要丝印碳纳米管,无需制作介质层和栅极,解决了场致发射源被破坏的问题.阴极与栅极之间真空取代了介质层,由于真空的绝缘性能高于介质层,所以阴极与栅极之间的距离可以减小,栅极的调制效果更显著.由于玻璃的平整度高于一般方法制作的介质层的平整度,所以器件的发射均匀性比较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷威	东南大学电子工程系	89	538	12.0	18.0
2	张晓兵	东南大学电子工程系	87	746	13.0	24.0
3	陈静	东南大学电子工程系	27	108	5.0	9.0
4	储开荣	东南大学电子工程系	4	8	2.0	2.0
5	狄云松	东南大学电子工程系	15	95	6.0	9.0
6	杨夏喜	东南大学电子工程系	5	18	2.0	4.0