阴极蒸发动态测试研究

• 作者: 丁耀根 刘燕文 张明晨 张洪来 李玉涛 王宇 田宏 阴生毅
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 覆膜钡钨阴极 蒸发 石英晶体振荡法 动态测量
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.4|O462.1
• 字数: 3115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.01.018

摘要

为了实现阴极蒸发定量测量,本文发展了一种基于石英晶体振荡原理的动态测试方法.研究表明,在选用高质量石英晶振片和对其进行强制冷却的情况下,既使晶振片近距离承受阴极的高温热辐射,晶振片频率降低趋势仍与阴极蒸发物增加的趋势保持良好的一致性,将单位时间的频率降低量代入公式计算,便可获得阴极蒸发的动态速率.与静态方法相比,这一方法可以提供阴极在蒸发之初的关键信息,因而可以更好地用于指导低蒸发覆膜钡钨阴极的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇	中国科学院电子学研究所	211	1906	23.0	32.0
2	田宏	中国科学院电子学研究所	43	278	9.0	15.0
3	丁耀根	中国科学院电子学研究所	112	1050	18.0	26.0
4	刘燕文	中国科学院电子学研究所	36	200	9.0	12.0
5	阴生毅	中国科学院电子学研究所	18	101	6.0	9.0
6	张明晨	中国科学院电子学研究所	7	81	5.0	7.0
7	张洪来	中国科学院电子学研究所	10	89	5.0	9.0
8	李玉涛	中国科学院电子学研究所	5	53	3.0	5.0