IC工厂的防微振设计

• 作者: 俞渭雄 娄宇 陈骝
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 微污染控制 振动源 防微振结构 隔振措施
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 专题讲座
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 分类号: TU8
• 字数: 6281字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2006.04.014

摘要

集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	娄宇		58	403	11.0	18.0
2	陈骝		12	71	6.0	8.0
3	俞渭雄		4	27	3.0	4.0