非线性曲线拟合法确定邻近效应参数

• 作者: 宋会英 张玉林 郝慧娟 魏强
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 曲线拟合 Monte Carlo模拟 最小二乘法 电子束光刻 邻近效应
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 12-15,20
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3583字
• 语种: 中文

摘要

为了更精确地确定邻近效应参数,借助优化的电子散射模型,利用改进的Monte Carlo算法模拟了电子束在固体中的散射过程,得到了不同曝光条件下抗蚀剂中的能量沉积分布.利用最小二乘非线性曲线拟合法对该分布进行了双高斯拟合,得到了邻近效应参数α,β和η的值,并与实验结果进行了比较发现,最小二乘非线性曲线拟合法可以用于邻近效应参数的确定.对不同曝光条件的参数拟合显示,增加入射电子束能量,α减小,β增大,而η几乎不变;增加抗蚀剂厚度,α增大,β和η变化不明显;增大衬底材料原子序数,β减小,η增大,而α几乎不变.所得结果不但能为电子束曝光条件的优化、邻近效应的降低提供理论指导,而且还能为邻近效应校正快速地提供精确的参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋会英		6	31	4.0	5.0
2	张玉林		18	76	5.0	8.0
3	郝慧娟		8	44	4.0	6.0
4	魏强		4	35	3.0	4.0