STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究

• 作者: 严学俭 华中一 张莉 曾志刚 朱国栋 沈淼 邱伟民
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: STM 刻蚀与改性 极性 脉冲电压
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 98-101
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TN605|TN16
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.02.005

摘要

利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工.在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验结果有影响.本文为此构建了物理模型,分析表明在不同极性的脉冲电压下,分别主要呈现电场效应或电子轰击效应.需要针对具体材料的具体加工要求,选择STM相应的脉冲电压极性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	华中一	复旦大学材料科学系	51	348	11.0	15.0
2	张莉	复旦大学材料科学系	47	300	9.0	15.0
3	严学俭	复旦大学材料科学系	22	151	7.0	11.0
4	邱伟民	复旦大学材料科学系	8	25	4.0	4.0
5	朱国栋	复旦大学材料科学系	8	25	2.0	5.0
6	曾志刚	复旦大学材料科学系	9	30	3.0	5.0
7	沈淼	复旦大学材料科学系	8	34	4.0	5.0