色散效应对GaAs太阳电池双层减反射膜的影响

• 作者: 彭长涛 戴瑞烜 王鹏 白一鸣 陈诺夫
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 色散效应 加权平均反射率 双层减反射膜 GaAs太阳电池
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 725-729
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.04.028

摘要

考虑双层减反射膜材料的折射率色散效应,采用光学干涉矩阵法计算了SiO2/ZnSe和SiO2/ZnS两种GaAs太阳电池双层减反射膜的反射率与波长的函数曲线,以及加权平均反射率随着顶层减反射膜SiO2厚度变化的函数曲线,并与未考虑色散效应的情况进行了对比.计算结果表明,色散效应对双层减反射膜的反射率有较大的影响,特别是对300～500nm波长范围的影响更大,且对不同材料的减反射膜的影响也是不同的.与未考虑色散效应的情况相比,考虑色散效应后,SiO2/ZnSe双层减反射膜的最小加权平均反射率从1.14%增加到1.55%,而SiO2/ZnS双层减反射膜的最小加权平均反射率却从1.49%减小到1.46%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鹏	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	195	1743	20.0	34.0
2	陈诺夫	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	33	154	6.0	11.0
6	白一鸣	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	3	73	3.0	3.0
7	戴瑞烜	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	2	5	1.0	2.0
8	彭长涛	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	4	19	2.0	4.0