浅析玻璃膜层的形成机理及其实用意义

• 作者: 郭明
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 镀膜玻璃 膜层形成机理
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 字数: 2817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2006.04.013

摘要

通过试验数据和理论分析,详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面,形成均匀膜层的机理及对设计和生产的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭明		16	11	2.0	3.0