电子束曝光机传输片机械手研制

• 作者: 乔俊仙 余国彬 王肇志
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 自动传输片 机械手 电子束曝光机
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 13-15,26
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|TP241
• 字数: 1802字
• 语种: 中文

摘要

以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位.研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合两根导向动轴以达到长期运行的稳定性及可靠性,克服了原传输片机构存在的上述问题,且动作过程有所简化,机构体积大大缩小,动作可靠性和准确度显著提高.介绍了传输片机械手的功能、组成及其结构设计,叙述了传输片机械手的动作原理和系统控制流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余国彬	中国科学院光电技术研究所	22	129	7.0	10.0
2	乔俊仙	中国科学院光电技术研究所	5	11	2.0	3.0
6	王肇志	中国科学院光电技术研究所	9	49	4.0	6.0