微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术

• 作者: 付跃刚 任智斌 姜会林 张磊 李文昊 田继文 齐向东
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微柱透镜阵列 全息曝光 光刻胶热熔
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1662字
• 语种: 中文

摘要

为改善微柱透镜阵列的制作技术、消除光刻工艺对光刻掩模版的依赖,研究了利用全息-热熔技术制作微柱透镜阵列的新方法,即首先采用了全息技术进行曝光,然后利用光刻胶热熔技术在K9玻璃基底上制作出了面形良好的微柱透镜阵列.实验结果表明,进行全息曝光并显影后,能够在光刻胶表面产生良好的正弦阵列表面结构,之后采用光刻胶热熔技术可将光刻胶的正弦阵列结构转变为微柱透镜阵列,且实验结果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任智斌	长春理工大学光电工程学院	7	123	4.0	7.0
2	姜会林	长春理工大学光电工程学院	173	1871	23.0	36.0
3	付跃刚	长春理工大学光电工程学院	106	456	10.0	15.0
4	张磊	长春理工大学光电工程学院	39	120	7.0	8.0
5	田继文	长春理工大学光电工程学院	2	7	2.0	2.0
6	李文昊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	144	7.0	11.0
7	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0