高反膜的计算机模拟及对实践的指导意义

• 作者: 徐晨 沈光地 田增霞 舒雄文
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高反膜 四分之一波长 光学厚度 物理厚度
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 142-144
• 页数: 3页
• 分类号: TB8|TN248.4
• 字数: 1401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.11.032

摘要

本文利用计算机对多层介质高反膜反射谱的模拟发现,当构成高反膜系的高、低两种折射率材料的光学厚度不一致时,反射带两侧的第一个谷值的大小将不同,据此作者认为在高反膜镀制时可根据反射带两侧第一个谷值大小情况来调节高反膜中单层膜厚度,实验结果证明了模拟结果的正确性,同时也确证了作者提出的这种方法是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光地		6	48	3.0	6.0
2	徐晨		3	11	1.0	3.0
3	舒雄文		1	1	1.0	1.0
4	田增霞		1	1	1.0	1.0