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激光清洗--微电子元件
激光清洗--微电子元件
作者:
刘淑静
宋峰
田彬
邹万芳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
细小微粒
近场光学聚焦
紫外激光
摘要:
简单介绍了激光清洗在微电子领域应用的优势,分析了激光清洗微电子元件的主要机理以及影响微电子元件清洗的主要因素,最后指出了这方面的应用情况.
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文献信息
篇名
激光清洗--微电子元件
来源期刊
清洗世界
学科
工学
关键词
细小微粒
近场光学聚焦
紫外激光
年,卷(期)
2006,(1)
所属期刊栏目
专题讲座
研究方向
页码范围
38-43
页数
6页
分类号
TH744.5
字数
4816字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1671-8909.2006.01.011
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
宋峰
南开大学物理学院光子学中心
75
889
17.0
25.0
2
刘淑静
南开大学物理学院光子学中心
17
332
11.0
17.0
3
邹万芳
南开大学物理学院光子学中心
8
145
7.0
8.0
4
田彬
南开大学物理学院光子学中心
6
122
6.0
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引证文献(1)
二级引证文献(6)
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引证文献(1)
二级引证文献(7)
2020(5)
引证文献(0)
二级引证文献(5)
研究主题发展历程
节点文献
细小微粒
近场光学聚焦
紫外激光
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
清洗世界
主办单位:
中国化工信息中心
出版周期:
月刊
ISSN:
1671-8909
CN:
11-4834/TQ
开本:
大16开
出版地:
北京空港工业B区安祥路5号
邮发代号:
2-640
创刊时间:
1985
语种:
chi
出版文献量(篇)
4408
总下载数(次)
7
总被引数(次)
7347
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