流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备

• 作者: 姚奎鸿 沃银花 王勇 王耐艳 祝洪良
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅(SiN) 硅烷 流态床 化学气相沉积(CVD)
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2705字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.01.007

摘要

采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇		33	187	9.0	12.0
2	沃银花		21	155	8.0	11.0
3	王耐艳		32	47	4.0	6.0
4	姚奎鸿		47	201	10.0	12.0
5	祝洪良		18	72	6.0	8.0