RTD的器件结构及制造工艺——共振隧穿器件讲座(6)

• 作者: 郭维廉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 器件结构 制造工艺 台面和平面结构 混合集成 空气桥 共振隧穿器件
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 366-371,392
• 页数: 7页
• 分类号: TN31
• 字数: 4568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.08.003

摘要

介绍RTD器件几种主要器件结构及每种器件结构的优、缺点和应用前景,并介绍了RTD通用制造工艺和工艺中的关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭维廉	天津工业大学信息与通讯工程学院	145	419	10.0	12.0