非晶硒合金膜的制备方法研究

• 作者: 孔玮曼 张斌 温婷婷
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体技术 非晶硒 X射线平板探测仪 热蒸镀
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.07.018

摘要

基于传统工艺,新研制开发了一套非晶硒合金膜制备的设备和工艺流程.实验采用高真空电阻加热蒸镀方法,已制备出面积为180 mm×180 mm的非晶硒合金膜并进行了基本特性检测.测试结果表明:所制备的膜非晶化程度高,厚度最大为90 μm,厚度分布比较均匀,相对误差在10%以内.所制备的膜满足光电转换膜的基本特性要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌	清华大学核能与新能源技术研究院	56	870	15.0	28.0
2	温婷婷	清华大学核能与新能源技术研究院	2	4	1.0	2.0
3	孔玮曼	威盛电子(中国)有限公司研发部	1	3	1.0	1.0