氧分压对PLD制备ZnO薄膜结构和发光性质的影响

• 作者: 孔祥贵 张宁 李清山 王璟璟 赵波 郑学刚 陈达
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 脉冲激光沉积 化学配比 光致发光 半峰全宽(FWHM)
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 787-791
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3|O482.31
• 字数: 2939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.05.030

摘要

采用脉冲激光沉积 (PLD)技术,在Si (100 )衬底上制备出高度c轴取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)谱,扫描电镜(SEM)和室温光致发光(PL)光谱的测量,研究了生长气氛压强的改变对薄膜结构和光致发光的影响.实验结果表明,当氧压从10 Pa升高到100 Pa时ZnO(002)衍射峰的半峰全宽(FWHM)增大.可以认为这是由于较高的氧压下,到达衬底表面的离子动能减小.这样部分离子没有足够的能量迁移到生长较快的(002)面,c轴取向变差,导致(002)衍射峰的强度降低,半峰全宽增大.随着氧压增大,紫外发光强度增强.这可能是氧压变大,薄膜的化学配比升高,说明化学配比对UV发光的影响要大于薄膜微结构的影响.改变氧气压强对薄膜的表面形貌也有较大的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李清山	曲阜师范大学物理工程学院	57	249	9.0	12.0
2	孔祥贵	中国科学院激发态物理重点实验室	33	237	9.0	13.0
3	赵波	曲阜师范大学物理工程学院	7	46	4.0	6.0
4	张宁	曲阜师范大学物理工程学院	15	64	5.0	7.0
5	陈达	曲阜师范大学物理工程学院	5	26	2.0	5.0
6	郑学刚	曲阜师范大学物理工程学院	5	26	2.0	5.0
7	王璟璟	曲阜师范大学物理工程学院	4	24	2.0	4.0