紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度

• 作者: 叶勤 吴奎 唐振方 彭舒
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 厚度测量 透明光电子薄膜 吸收光谱仪 椭偏测厚仪
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2006.02.003

摘要

采用椭偏测厚仪测量薄膜的折射率,用来修正紫外可见吸收光谱仪极值法测量膜厚的数据.通过制备掺铝氧化锌(ZAO)薄膜及SEM断口观察进行实验验证,证实该修正方法有助于提高膜厚测量精度.联用这2种常规仪器,可以方便地获得0～20μm宽范围的透明光电子薄膜的厚度,数据采集与处理简单快捷,可满足大部分薄膜工艺研究和生产的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶勤	暨南大学物理系	37	351	11.0	16.0
2	唐振方	暨南大学物理系	48	418	11.0	18.0
3	吴奎	暨南大学物理系	7	58	5.0	7.0
4	彭舒	暨南大学物理系	8	37	3.0	6.0