引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计

• 作者: 刘俊 石云波 祁晓瑾
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 高g值 敏感元件 阻尼设计
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 537-541
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.07.017

摘要

根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件.通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法.结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合.最后设计了一套可行的加工工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	祁晓瑾	中北大学电子测试技术国家重点实验室	5	69	5.0	5.0