光声光谱法探测微量气体

• 作者: 吴飞蝶 周嘉 王建业 纪新明 黄宜平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光声光谱法 光声腔 气体探测 微机械技术
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 1206-1211
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.04.070

摘要

介绍光声光谱气体传感器的发展及应用意义,根据气体光声效应讨论了光声气体传感器的工作原理,详细分析了多种不同结构传感器的原理及优缺点.重点讨论了常用一维管状光声腔体的光声理论,并给出了数学模拟模型.根据国内外的研究现状,分析了光声气体探测系统的重难点以及可能的解决方法,并讨论了光声传感向MEMS方向发展的原因及意义.