MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展

• 作者: 吴建生 章磊 谢超英
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 形状记忆合金薄膜 力学性能
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 本期专题:形状记忆合金
• 页码范围: 109-113
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 6279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.02.029

摘要

总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴建生	上海交通大学材料科学与工程学院教育部高温材料及测试重点实验室	141	1402	19.0	30.0
2	谢超英	上海交通大学材料科学与工程学院教育部高温材料及测试重点实验室	17	180	8.0	13.0
3	章磊	上海交通大学材料科学与工程学院教育部高温材料及测试重点实验室	1	10	1.0	1.0