等离子体化学气相沉积类金刚石碳膜的特性及应用

• 作者: 巴德纯 杨乃恒 蔺增
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石碳膜 等离子体化学气相沉积 特性 应用
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TB79|TB43
• 字数: 2598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.03.004

摘要

类金刚石 (DLC)膜是含有sp3杂化态的亚稳态非晶碳膜,是具有极高的硬度、化学稳定性和光学透明性的半导体材料.这篇综述介绍了用等离子体化学气相沉积DLC膜的沉积方法、所制备薄膜的特性及应用,最后展望了DLC膜的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学真空与流体工程中心	250	1491	18.0	22.0
2	蔺增	东北大学真空与流体工程中心	40	160	7.0	9.0
3	杨乃恒	东北大学真空与流体工程中心	40	356	12.0	17.0