给水质量对超纯水制备的影响

• 作者: Daniel Darbouret Ichiro Kano Masanori Kanazawa NaoeIshii
• 来源期刊: 实验与分析
• 学科: 工学
• 关键词: 超纯水制备 给水质量 制备过程 使用寿命 电阻率 TOC 可靠性 生产线
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TQ085.4

摘要

在超纯水的制备过程中，给水质量对终端产水的质量，包括电阻率、TOC水平有着重要的影响，同时还会影响超纯水生产线的可靠性、效率、使用寿命等。本文就这个话题展开详细的说明。