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摘要:
为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯( PMMA )微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.
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种子层
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 LIGA工艺中微电铸工艺研究
来源期刊 激光技术 学科 工学
关键词 微电铸 LIGA 准分子激光 PMMA
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目 应用
研究方向 页码范围 47-49
页数 3页 分类号 TG665
字数 2536字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.01.030
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 史铁林 华中科技大学机械科学与工程学院 192 2245 25.0 38.0
2 熊良才 华中科技大学机械科学与工程学院 28 380 11.0 18.0
3 柳海鹏 华中科技大学机械科学与工程学院 8 53 5.0 7.0
4 周月豪 华中科技大学机械科学与工程学院 5 43 4.0 5.0
5 马龙 华中科技大学机械科学与工程学院 7 77 5.0 7.0
传播情况
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PMMA
研究起点
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期刊影响力
激光技术
双月刊
1001-3806
51-1125/TN
大16开
四川省成都市238信箱
62-74
1971
chi
出版文献量(篇)
4090
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