LIGA工艺中微电铸工艺研究

• 作者: 史铁林 周月豪 柳海鹏 熊良才 马龙
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 LIGA 准分子激光 PMMA
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TG665
• 字数: 2536字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.01.030

摘要

为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯( PMMA )微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械科学与工程学院	192	2245	25.0	38.0
2	熊良才	华中科技大学机械科学与工程学院	28	380	11.0	18.0
3	柳海鹏	华中科技大学机械科学与工程学院	8	53	5.0	7.0
4	周月豪	华中科技大学机械科学与工程学院	5	43	4.0	5.0
5	马龙	华中科技大学机械科学与工程学院	7	77	5.0	7.0