钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
任务中心
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
物理学期刊
\
激光技术期刊
\
LIGA工艺中微电铸工艺研究
LIGA工艺中微电铸工艺研究
作者:
史铁林
周月豪
柳海鹏
熊良才
马龙
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微电铸
LIGA
准分子激光
PMMA
摘要:
为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯( PMMA )微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
基于LIGA工艺的微齿轮误差特点
LIGA
微齿轮
误差
鲨鱼皮微结构微电铸复制工艺研究
鲨鱼皮
热压
电铸铜
微结构
太赫兹金属器件电铸工艺中电流密度研究
微电铸
太赫兹
挡板
电流密度
模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖
纳米尖
硅模具
各向异性刻蚀
微电铸
种子层
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
LIGA工艺中微电铸工艺研究
来源期刊
激光技术
学科
工学
关键词
微电铸
LIGA
准分子激光
PMMA
年,卷(期)
2006,(1)
所属期刊栏目
应用
研究方向
页码范围
47-49
页数
3页
分类号
TG665
字数
2536字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1001-3806.2006.01.030
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
史铁林
华中科技大学机械科学与工程学院
192
2245
25.0
38.0
2
熊良才
华中科技大学机械科学与工程学院
28
380
11.0
18.0
3
柳海鹏
华中科技大学机械科学与工程学院
8
53
5.0
7.0
4
周月豪
华中科技大学机械科学与工程学院
5
43
4.0
5.0
5
马龙
华中科技大学机械科学与工程学院
7
77
5.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(8)
共引文献
(46)
参考文献
(3)
节点文献
引证文献
(19)
同被引文献
(23)
二级引证文献
(76)
1994(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1995(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1996(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1997(3)
参考文献(0)
二级参考文献(3)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
2002(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(2)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2006(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2007(5)
引证文献(3)
二级引证文献(2)
2008(4)
引证文献(3)
二级引证文献(1)
2009(6)
引证文献(1)
二级引证文献(5)
2010(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2011(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2012(5)
引证文献(2)
二级引证文献(3)
2013(4)
引证文献(2)
二级引证文献(2)
2014(4)
引证文献(0)
二级引证文献(4)
2015(7)
引证文献(1)
二级引证文献(6)
2016(11)
引证文献(2)
二级引证文献(9)
2017(14)
引证文献(1)
二级引证文献(13)
2018(10)
引证文献(2)
二级引证文献(8)
2019(14)
引证文献(0)
二级引证文献(14)
2020(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
微电铸
LIGA
准分子激光
PMMA
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光技术
主办单位:
西南技术物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-3806
CN:
51-1125/TN
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市238信箱
邮发代号:
62-74
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
4090
总下载数(次)
10
期刊文献
相关文献
1.
基于LIGA工艺的微齿轮误差特点
2.
鲨鱼皮微结构微电铸复制工艺研究
3.
太赫兹金属器件电铸工艺中电流密度研究
4.
模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖
5.
缸盖罩高真空压铸工艺与普通排气块压铸工艺分析
6.
MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析
7.
基于准LIGA技术的微齿轮制作
8.
稀土泡沫铝合金真空吸铸工艺的研究
9.
电铸工艺对工具电极材料抗电蚀性能的影响研究
10.
LIGA工艺基础及其发展趋势
11.
含N'N-二乙基硫脲添加剂的微电铸工艺金属铜填洞机理
12.
采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板
13.
鲨鱼皮微电铸复制工艺研究
14.
Nb微合金化钢异型坯连铸工艺的优化
15.
φ150 mm钻杆钢水平连铸工艺优化
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
任务中心
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
激光技术2022
激光技术2021
激光技术2020
激光技术2019
激光技术2018
激光技术2017
激光技术2016
激光技术2015
激光技术2014
激光技术2013
激光技术2012
激光技术2011
激光技术2010
激光技术2009
激光技术2008
激光技术2007
激光技术2006
激光技术2005
激光技术2004
激光技术2003
激光技术2002
激光技术2001
激光技术2000
激光技术1999
激光技术2006年第6期
激光技术2006年第5期
激光技术2006年第4期
激光技术2006年第3期
激光技术2006年第2期
激光技术2006年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号