基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺

• 作者: 刘宏 姜力 王嘉力 高晓辉
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 应变计 力传感器 MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微细加工技术
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2592字
• 语种: 中文

摘要

提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了其工艺的实现步骤.采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度.提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构.并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段.通过实验证实,此种薄膜工艺的应用提高了力传感器的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宏	哈尔滨工业大学机器人研究所	198	1901	22.0	30.0
2	姜力	哈尔滨工业大学机器人研究所	86	783	15.0	22.0
3	王嘉力	哈尔滨工业大学机器人研究所	6	41	5.0	6.0
4	高晓辉	哈尔滨工业大学机器人研究所	30	401	11.0	19.0