聚羟基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成

• 作者: 刘建国 李平 郑家燊
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 聚羟基苯乙烯 深紫外光致抗蚀剂 主体成膜树脂
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 应用与发展
• 页码范围: 67-74
• 页数: 8页
• 分类号: O64
• 字数: 4012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2006.01.010

摘要

主要综述了聚羟基苯乙烯用作深紫外光致抗蚀剂主体成膜树脂的发展历程、应用现状以及一些最新的研究进展,并简要介绍了聚羟基苯乙烯的单体衍生物及其聚合物的制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑家燊	华中科技大学化学系	95	1317	21.0	31.0
2	李平	华中科技大学化学系	109	589	12.0	16.0
3	刘建国	华中科技大学化学系	117	790	13.0	21.0