溅射靶材的种类、应用、制备及发展趋势

• 作者: 杨庆山 贺丰收 陈建军
• 来源期刊: 湖南有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 靶材 种类 应用 制备 发展趋势
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 38-41,76
• 页数: 5页
• 分类号: TG14
• 字数: 4861字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5540.2006.04.011

摘要

随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求量越来越大.文章介绍了溅射靶材的种类、应用及制备情况.并对靶材的发展趋势作了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨庆山		17	179	7.0	13.0
2	贺丰收		4	63	3.0	4.0
3	陈建军		9	120	4.0	9.0