计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算

• 作者: 王洪喜 贾建援 赵剑
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电力 平行板电容器 边缘效应
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 95-97,111
• 页数: 4页
• 分类号: O441.1|TH703
• 字数: 1764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.02.006

摘要

从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发,应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式,在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式.通过与有限元计算结果对比,得到了不同计算公式的精度,其中应用复变函数方法得到的简化公式形式简单,精度高,能够满足工程计算要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	王洪喜	西安电子科技大学机电工程学院	16	136	7.0	11.0
3	赵剑	西安电子科技大学机电工程学院	12	94	6.0	9.0