CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法

• 作者: 李金儒 汤跃科 薛丽君 陈宝钦
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微光刻图形 数据格式转换 挖空多边形 图形切割
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 5-7,20
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|TP301.6
• 字数: 1328字
• 语种: 中文

摘要

给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形.本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量.另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宝钦	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	50	361	11.0	16.0
2	李金儒	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	4	2	1.0	1.0
3	汤跃科	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	4	8	2.0	2.0
4	薛丽君	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	8	141	3.0	8.0