一种基于MEMS的射频低相位噪声压控振荡器的研制

• 作者: 吕苗 张志国 李丽 杨瑞霞 赵正平 郭文胜
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 可变电容 Q值 压控振荡器 相位噪声
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 900-904
• 页数: 5页
• 分类号: TN753.9
• 字数: 2391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.05.026

摘要

利用微机械可变电容作为频率调节元件,制备了一种中心频率为2GHz的 LC VCO.微机械可变电容的控制极板与电容极板分离,并采用表面微机械工艺制造,在2GHz时的Q值最高约为38.462.MEMS VCO的测试结果表明,偏离2.007GHz的载波频率100kHz处的单边带相位噪声为-107.5dBc/Hz,输出功率为-13.67dBm.对微机械可变电容引起的机械热噪声以及减小空气压膜阻尼来降低相位噪声的方法进行了讨论,提出了一种优化阻尼孔数目的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞		180	759	13.0	18.0
2	赵正平	河北工业大学信息工程学院	22	61	5.0	5.0
6	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0
7	张志国	河北工业大学信息工程学院	17	48	5.0	5.0
9	李丽	河北工业大学信息工程学院	27	94	6.0	9.0
15	郭文胜	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	28	4.0	5.0