磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究

• 作者: 冷永祥 孙鸿 张文英 沟引宁 黄楠
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤阴极真空弧源 C/C多层DLC膜 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 121-124
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TH117.3
• 字数: 2535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2006.02.006

摘要

采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Si基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7 μm,硬度高达68 GPa,与SiC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沟引宁		2	45	2.0	2.0
2	黄楠		5	54	4.0	5.0
3	孙鸿		3	49	3.0	3.0
4	张文英		2	45	2.0	2.0