电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响

• 作者: 孙长敬 陶云
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电极层 压电悬臂梁 动态性能
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TM354
• 字数: 1655字
• 语种: 中文

摘要

采用解析方法就电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响进行了研究,并得出结论:当弹性层、压电层与电极层的厚度比值较大时,可忽略电极层对压电悬臂梁横向位移及谐振频率的影响.当各层的厚度都在微纳米量级时,电极层的影响不容忽视;同时,微纳尺度下该解析方法的适用性还有待进一步研究.这些对微纳尺度下压电悬臂梁的设计及应用都有一定的指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶云	中国计量学院机电工程学院	1	3	1.0	1.0
2	孙长敬	中国计量学院机电工程学院	13	38	4.0	5.0