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摘要:
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高功率微波等离子体环境下甲烷浓度对金刚石膜的影响
甲烷
高微波功率
微波等离子体
化学气相沉积
直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备的研制
化学气相沉积
等离子体炬
金刚石膜
热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究
热丝化学气相沉积
金刚石
温度场
薄膜生长
等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
等离子体刻蚀
金刚石膜
进展
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 微波等离子体化学气相沉积技术制备金刚石薄膜的研究
来源期刊 材料导报:网络版 学科 工学
关键词 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石薄膜
年,卷(期) cldbwlb,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 36-39
页数 4页 分类号 TQ320.721
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李周 中南大学材料科学与工程学院 138 1258 18.0 27.0
2 汪明朴 中南大学材料科学与工程学院 145 1534 19.0 30.0
3 谢丹 中南大学材料科学与工程学院 14 117 6.0 10.0
4 罗丽 中南大学材料科学与工程学院 5 10 2.0 3.0
传播情况
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引文网络
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2006(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微波等离子体
化学气相沉积
金刚石薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料导报:网络版
双月刊
1005-023X
CN 50-1078/TB
重庆市北部新区洪湖西路18号
出版文献量(篇)
249
总下载数(次)
12
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