CO2激光-化学腐蚀制作金阵列微电极

• 作者: 周勇亮 张维 肖江群
• 来源期刊: 电化学
• 学科: 化学
• 关键词: 微流控芯片 金电极 CO2激光
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 429-433
• 页数: 5页
• 分类号: O657.1|TN4
• 字数: 2890字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3471.2006.04.016

摘要

微电极的制作是微流控芯片电化学检测的关键技术.本文提出CO2激光烧蚀结合化学腐蚀快速制作微流控芯片阵列微电极的方法. 在溅射Au/Cr的玻璃基片上涂敷指甲油作牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,经化学腐蚀后获得阵列电极,电极宽度为100 μm. 考察了激光加工参数及牺牲层对电极加工质量的影响,对由键合包封制作的微流控芯片,循环伏安及流动注射分析测试表明,该电极芯片可用于微流控芯片的安培检测.