微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用

• 作者: 刘明 徐秋霞 易里成荣 李志钢 涂德钰 王丛舜 谢常青 陈宝钦 龙世兵
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 自上而下的纳米加工 纳米器件
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳米加工技术专题
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 4191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.01.009

摘要

微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章介绍了自上而下的微纳加工技术的进展及其在微纳器件研制的重要作用.