激光微细熔覆快速原型制备

• 作者: 曾晓雁 李慧玲
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微细熔覆 快速原型制造 厚膜电容 介质膜
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2899字
• 语种: 中文

摘要

传统上厚膜电容的制备由于采用了丝网技术、烧结工艺、有限的匹配温度特性材料,使得要实现高容量、低损耗、高频性就必须同时改变材料的成分、制备工艺和技术, 这是无法同时达到的.而采用激光微细熔覆快速原型制造技术,不需要高温烧结和掩模的制备,在不改变电极膜特性的情况下直接制备了适应高容量、低损耗和高频应用的介质膜.同时,消除了原有技术通过多次印刷和增加厚度来减少针孔的弊端,以及高温烧结带来的电极材料和介质材料成分的扩散,利用CAD/CAM系统可灵活地制备所设计的图形和尺寸,实现了元件小型化、轻薄化的制造.