铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术

• 作者: 侯阳 夏丽昆 太云见 李银柱 莫启元 袁俊
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电材料 激光刻蚀 PID控制技术
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 系统与设计
• 页码范围: 489-492
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 1545字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.08.014

摘要

国内外已研究的网格化技术包括离子束刻蚀和激光化学辅助刻蚀.由于铁电体材料不易减薄至20μm以下,而且像元中心距也在逐步减小,采用离子束刻蚀技术实施网格化很困难.因此,为实现热释电非制冷焦平面探测器的网格化,减小热串音,提高器件的空间分辨率,采用了一套基于PID微机控制技术的激光化学辅助刻蚀系统对铁电材料进行了网格化刻蚀,较好地解决了大列阵铁电材料探测器的网状技术这一难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏丽昆	总装重庆军代局驻昆明地区军代室	4	0	0.0	0.0
4	袁俊		14	59	5.0	7.0
5	莫启元	总装重庆军代局驻昆明地区军代室	4	1	1.0	1.0
6	太云见		11	82	7.0	8.0
10	李银柱		2	22	1.0	2.0
14	侯阳		1	0	0.0	0.0