多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

• 作者: 朱小平 杜华 杨自本 高思田
• 来源期刊: 现代测量与实验室管理
• 学科: 工学
• 关键词: 多光束干涉 移相 解包裹 三维形貌
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 计量测试
• 页码范围: 7-9,18
• 页数: 4页
• 分类号: TB96
• 字数: 2423字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-8764.2006.03.002

摘要

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	朱小平		29	142	6.0	11.0
3	杨自本		8	65	4.0	8.0
4	杜华		33	201	8.0	12.0