半导体外延层晶格失配度的计算

• 作者: 何菊生 张萌 肖祁陵
• 来源期刊: 南昌大学学报（理科版）
• 学科: 工学
• 关键词: 晶格失配度 体结构 二维晶格 半导体外延层
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 63-67,102
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1|TN304.2
• 字数: 4785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0464.2006.01.018

摘要

比较了晶格失配度的各种定义,建议统一使用同一定义.采用简化模型系统地探讨了各种情况下半导体外延生长层和衬底的二维晶格失配度的计算,最后讨论了结合XRD衍射图谱确定失配度的方法.结果表明,正三角形晶格和长方形晶格匹配,长方形晶格的宽列原子的匹配具有优先性,不受长列原子匹配的影响.长方形的长宽比接近匹配比时,整体匹配较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张萌	南昌大学材料科学与工程学院	69	569	12.0	20.0
2	何菊生	南昌大学材料科学与工程学院	5	48	2.0	5.0
3	肖祁陵	南昌大学材料科学与工程学院	3	47	1.0	3.0