真空设备的检漏

• 作者: 张伟 段成君 陈华锋
• 来源期刊: 通用机械
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 泄漏率 检漏仪 检漏
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 新技术新产品
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TH3
• 字数: 2948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7139.2006.10.019

摘要

介绍了真空检漏的常用方式,并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向、灵敏度分析及应用以及检漏方法,并总结了真空检漏的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段成君		8	27	3.0	5.0
2	张伟		53	95	5.0	7.0
3	陈华锋		6	15	3.0	3.0