类LIGA工艺的精微注塑成型

• 作者: 王翊 瞿光明
• 来源期刊: 橡塑技术与装备
• 学科: 工学
• 关键词: 注塑成型 LIGA工艺 光致抗蚀剂 细微结构 电镀
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TQ320.66
• 字数: 2189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-797X.2006.01.007

摘要

对于带有微型结构模型制件的注塑成型工艺,采用类LIGA精微注塑成型是一种低成本高成效的途径.详细阐述了制备模制件骨架的类LIGA工艺.在研究中使用了一个有圆形模制件骨架的双板模型,且在骨架上电镀了细微结构.通过实验得出采用类LIGA注塑成型的诸多优点.