分子/增压泵的结构、性能及其应用

• 作者: 储继国
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 分子/增压泵 牵引分子泵 冲洗
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 4763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.01.001

摘要

分子/增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵,该泵兼有中、高真空泵的性能,能耗低,能获得清洁真空,还能承受大气冲击,应用前景十分广泛.本文详细介绍了分子/增压泵的结构、性能和应用,并与常用的中、高真空泵作比较.最后,介绍了分子/增压泵的一种独特应用--"大型真空设备的冲洗抽气法",该方法将抽气时间缩短至50%,能耗降至10%～25%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	储继国	深圳大学理学院	5	23	2.0	4.0