ZnSe多晶化学机械抛光研究

• 作者: 么艳平 刘景和 张玉兰 李长江
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnSe多晶 化学机械抛光 工艺技术 性能测试
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 1378-1382
• 页数: 5页
• 分类号: O786
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.06.047

摘要

本文针对ZnSe多晶的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的ZnSe多晶加工工艺,并重点讨论了化学机械抛光工艺.同时对加工后零件的工艺参数、表面质量及透过率的测试,结果表明所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘景和	长春理工大学材料与化工学院	134	714	13.0	18.0
2	么艳平	吉林师范大学信息技术学院	10	50	4.0	6.0
6	张玉兰	长春理工大学光学加工中心	10	43	4.0	6.0
7	李长江	长春理工大学光学加工中心	5	33	4.0	5.0