CN200420070516一种金刚石膜高速精密抛光装置

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 抛光装置 金刚石膜 高速精密 驱动装置 扩散温度 抛光盘 低温加热 相对运动 表面温度 实用新型
• 年，卷（期）: zgcycl_2006,（4）
• 页码范围: 17
• 页数: 1页
• 分类号: TG580.692

摘要

一种金刚石膜高速精密抛光装置，包括床身、抛光盘驱动装置、金刚石膜驱动装置、真空抛光室外罩和加热器，抛光盘驱动装置设置在真空抛光室外罩内，并都固定在床身上，金刚石膜驱动装置固定在真空抛光室外罩的上面，加热器设置在上支架的上面，金刚石膜装卡在抛光头上，采用抛光盘与金刚石膜的高速相对运动产生摩擦热和抛光盘底面低温加热，使金刚石膜抛光表面温度迅速达到扩散温度，金刚石膜表面的凸点碳原子向由铁、镍等金属制成的抛光盘扩散磨损，从而达到抛光目的，本实用新型具有结构简单、抛光质量好、抛光效率高、生产成本低等优点，解决了热铁板抛光因加热温度及温度分布梯度过大而造成的抛光盘翘曲变形大，抛光平面度差等问题。