PZT压电厚膜的研究现状与进展

• 作者: 张雷 李传山 沈建兴 董金美
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 压电厚膜 浆料 扩散 缓冲层
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 103-107
• 页数: 5页
• 分类号: TQ17
• 字数: 4855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2006.05.023

摘要

PZT压电厚膜材料具有良好的压电性能,它兼顾了块体材料和薄膜的优点,近年来得到了广泛的研究与应用.本文简述了制备PZT压电厚膜的制备方法及基板、电极材料的研究情况,讨论了目前制造PZT压电厚膜所存在的基板与厚膜之间的高温扩散以及丝网印刷用厚膜浆料难以分散均匀等共性问题,同时,就如何解决这些问题进行了评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈建兴	山东轻工业学院材料科学与工程学院	50	298	11.0	14.0
2	李传山	山东轻工业学院材料科学与工程学院	11	84	5.0	9.0
3	董金美	山东轻工业学院材料科学与工程学院	7	67	4.0	7.0
4	张雷	山东轻工业学院材料科学与工程学院	15	338	7.0	15.0