薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析

• 作者: 乔东海 汤亮 郝震宏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason等效电路模型 微波振荡器 双工器 射频微机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1911-1916,1919
• 页数: 7页
• 分类号: TN62
• 字数: 3043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.160

摘要

主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响进行了详细分析.结果表明,薄膜体声波谐振器谐振频率主要由压电材料和厚度决定但电极的影响也是很大的.在制作高频FBAR器件(5GHz以上)时,采用氮化铝作压电材料比用氧化锌作压电材料更合适.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤亮	中国科学院声学研究所微机电实验室	13	88	6.0	9.0
2	郝震宏	中国科学院声学研究所微机电实验室	9	101	7.0	9.0
3	乔东海	中国科学院声学研究所微机电实验室	25	166	8.0	11.0