纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究

• 作者: 张亚非 徐东 杨莺歌 金文豪
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 光学常数 非线性约束优化算法
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 3219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2006.01.007

摘要

采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO2、Au纳米薄膜和双层TiO2/Au纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱.通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度.这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的,具有透射光谱易测量、计算精度高等特点.