基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究

• 作者: 张颖 李铁 杨恒 林梓鑫 焦继伟 王跃林 赵全斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双端固支硅纳米梁 压阻检测 Ar离子轰击 谐振特性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1705-1708
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 2089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.104

摘要

我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242 nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构,在梁厚度方向形成非对称掺杂,表现出压阻特性.利用该局部压阻,我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量,其共振频率为400 kHz;同时,我们对获得的低Q值进行了初步讨论.