真空感应CVI/CVD系统自动化控制技术

• 作者: 商凯东 巴德纯 李秋菊 王冬 王庆
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空感应 CVI/CVD 串行通讯 工业控制计算机 监控系统
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 真空冶金
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TP216|TP27
• 字数: 2068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.03.008

摘要

介绍了真空感应CVI/CVD系统结构、功能.针对真空感应系统干扰强的特点,分析了对该系统进行控制的要点.根据操作工艺设计了基于分布式、模块化控制解决方案.实现了被控量的在线实时测控.开发了真空感应系统专用控制软件,同时介绍了控制系统软件的主要功能.分析了PLC、智能模块、智能仪表与工业控制计算机的通讯机制,并给出了通讯的实现方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
2	王庆	东北大学真空与流体工程研究中心	47	245	8.0	13.0
3	王冬		2	4	1.0	2.0
4	商凯东		2	4	1.0	2.0
5	李秋菊		2	4	1.0	2.0