集成微流体测控芯片的研制

• 作者: 倪鹤南 傅建奇 刘晓为 曾娟 王蔚 田丽 陈小洁
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体 微泵 微流量传感器 温度传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微流控器件与技术
• 页码范围: 1970-1973
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.174

摘要

设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片.采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时微沟道的散热作用,分析确定了芯片上各元件的结构.该集成芯片为硅-玻璃结构,在硅片上,利用ICP法刻蚀无阀微泵泵体和微沟道;在7740玻璃片上,以溅射、剥离法制作微流量和温度传感器;图形精确对准后硅/玻璃以静电键合方法封接.无阀微泵采用压电元件驱动.测试结果表明:集成芯片具有冷却功能,循环水的流速最大可达25.4mm/s.